中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
この商品を問い合わせる
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
同じ型式の在庫がほかに16台あります → 中古 Aera FC-770AC の在庫17台を比べる
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SF6 流量:200SCCM
- 管理番号
- Z230331105
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SF6 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発分野において安定した実績を持つ、アナログ制御方式のエラストマーシール（ゴムシール）型マスフローコントローラーです。
不活性ガスから腐食性・反応性ガスまで幅広く対応する設計がなされており、本個体はSF6（六フッ化硫黄）ガス専用、最大流量200SCCM（標準状態におけるミリリットル/分）仕様として調整されています。SF6は主にシリコンや酸化膜等のドライエッチングプロセス、またはCVD装置のクリーニングガスとして多用されるガスです。
応答性に優れた高速比例電磁バルブと、高精度な熱式流量センサを搭載しており、設定値に対して迅速かつ正確なガス流量制御を実現します。制御信号および出力信号には標準的な0〜5 VDCのアナログ電圧信号を採用しているため、既存の自動制御システムや評価試験設備への組み込み・置き換えが容易な汎用性の高いモデルです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
同じ型式 FC-770AC の在庫
ほかのマスフローコントローラー（MFC）の在庫
マスフローコントローラー（MFC）の在庫をすべて見る(223点) ›
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
FC-780C
30,000円
問い合わせるZ241011022
マスフローコントローラー（MFC）の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー（MFC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。