中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:N2 流量:10SCCM
- 管理番号
- Z230331098
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 10 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※上記仕様はメーカーの同シリーズにおける標準的な公開情報に基づきます。中古機器の性質上、実際の接続形状（継手サイズ）やピンアサイン等の詳細な状態については、現物確認が必要となる場合があります。
出典: メーカー資料
Aera FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、プロセスガス（N2：窒素）の質量流量を精密に測定・制御するアナログ式のマスフローコントローラーです。フルスケール流量が10 SCCMという極めて微小な流量域に対応しており、半導体製造プロセス、理化学機器、各種研究開発用途における精密なガス流量管理に適しています。バルブの基本動作は常時閉（Normally Closed）仕様となっており、非通電時やシステム異常時には自動的に流路を遮断する安全設計が施されています。接ガス部のシールには信頼性の高いエラストマー素材が採用されており、外部へのガス漏洩を防ぎます。流量の設定および出力の確認は、標準的なアナログ信号（0〜5 VDC）を介して行われ、シンプルなシステム構成で確実なガス流量制御を実現します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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