中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 数量
- 5台(同じ型式をこの管理番号でまとめて管理。価格は1台あたり)
- 仕様
- 流量：500SCCM ガス：AR
- 管理番号
- Z241011029
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種真空プロセスにおいて、アルゴン（Ar）ガスの流量を高精度に制御するためのアナログ式マスフローコントローラーです。フルスケール流量は500 SCCMに設定されており、微小流量域から定格流量までの幅広い範囲で安定したガス供給を実現します。
流量の制御および出力信号には標準的な0～5 VDCを採用しており、既存の設備やPLC等の制御機器との連携が容易な設計となっています。駆動電源には±15 VDCが必要です。応答速度は設定値の±2%以内に到達するまで約1秒と迅速であり、ガス供給の立ち上がりや流量変更時の遅延を最小限に抑え、プロセスの安定化に寄与します。
流量精度はフルスケールに対して±1.0%、再現性は±0.2%の数値を持ち、厳密な流量管理が求められる環境下でも高い信頼性を発揮します。内部のシール機構にはエラストマー（フッ素ゴム等）を採用しており、一般的なガスラインにおいて十分な気密性（リークレート 1×10^-8 Pa・m^3/s以下）を維持します。また、内部バルブは非通電時に自動的に閉鎖するノーマリークローズ仕様となっており、停電時やシステム異常時におけるガスの流出を防ぐ安全確保にも配慮された構造です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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