中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-780のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置において、精密なガス流量管理を行うために広く採用されているエラストマー（ゴム）シール方式の熱式マスフローコントローラ（MFC）です。本個体は、特定のプロセスガスであるN2O（亜酸化窒素）に対応し、最大流量500 sccmの制御範囲に調整されています。

熱式センサーと高速比例電磁弁の組み合わせにより、ステップ変化に対して2秒以下という迅速な応答性能を誇り、プロセスの過渡期における流量の乱れを最小限に抑えます。制御精度は±1.0% F.S.（フルスケール）、再現性は±0.2% F.S.と極めて高く、長期間の使用においても安定したプロセス再現性を維持します。接ガス部には耐食性に優れたSUS316Lを採用しており、信頼性の高いアナログ制御（0〜5 VDC）によって正確なシステム構築が可能です。

【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**: N2O（亜酸化窒素）
* **最大流量**: 500 sccm
* **シール材**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **制御精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2.0秒以下
* **動作差圧**: 約50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧（最大動作圧力）**: 1.0 MPa
* **外部リークレート**: 1×10⁻⁶ Pa・m³/sec (He) 以下
* **接ガス部主要材質**: SUS316L、エラストマー
* **制御信号**: 0 〜 5 VDC (入力/出力)
* **駆動電源**: ±15 VDC (±5%)