中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 500SCCM/N2O
- 管理番号
- Z2203170113
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2O |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
FC-780 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(ノーマリオープン) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 外部シール材 | Metal |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
出典: メーカー資料
Aera FC-780 の装置概要 AIによる記述です
ガスの質量流量を検出し、内蔵バルブの開度を調整して設定値どおりの流量を保つマスフローコントローラーです。半導体製造や薄膜形成などのプロセス装置のガス供給ラインに組み込まれ、外部からの設定信号で流量を制御します。フルスケールレンジはN2換算で10SCCM〜5SLMの範囲にあり、掲載品は100SCCM/NH3、500SCCM/N2O、500SCCM/5％ SiH4/Arの各ガスとレンジに対応したものです。
精度はフルスケールの±1%以下、直線性はフルスケールの±0.5%以下、繰り返し性はフルスケールの±0.2%以下で、流量制御範囲は2〜100 %F.S.です。応答性は1秒以内(フルスケールの±2%まで)です。バルブは常開(ノーマリオープン)で、外部シール材にMetalを用い、外部リークレートは1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/secです。動作差圧は49〜275 kPa(d)、最大動作圧力は490 kPa(g)、耐圧力は981 kPa(g)、使用可能周囲温度は5〜45 ℃です。流量設定出力信号は0〜5VDC、駆動電源は+15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mAです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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