中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-780
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-780
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SIH2CL2 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331094
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH2Cl2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 現品ラベルの型式 | FC-780(AERA／Tylan) |
FC-780 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | NH3(アンモニア) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリオープン(型番末尾にCが付かない) |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下 |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下 |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※以下の仕様はメーカー公表の標準的な代表値であり、実機の設定や校正状態によって異なる場合があります。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
Tylan FC-780 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種化学気相堆積（CVD）プロセス等において、気体の質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラー（MFC）です。センサー部、バイパス部、および電磁式コントロールバルブを一体化し、外部からの電気信号に応じて設定された流量を正確に維持します。
本個体は、シリコンエピタキシャル成長や窒化膜、酸化膜の形成に広く用いられる「ジクロロシラン（SiH2Cl2）」ガス専用として調整されており、最大流量100 SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）に対応しています。腐食性の高いプロセスガスに対して優れた耐食性を発揮する金属材料が接ガス部に採用されており、経時変化が少なく長期にわたる安定した流量制御が可能です。アナログインターフェースによる制御に対応し、既存のレガシーシステムや研究開発用装置への組み込み・リプレイスに適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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