中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-780
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-780
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:NH3 流量:1SLM
- 管理番号
- Z230331091
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | NH3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
| 現品ラベルの型式 | FC-780(AERA／Tylan) |
FC-780 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | NH3(アンモニア) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリオープン(型番末尾にCが付かない) |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下 |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下 |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※上記仕様はメーカーの基本シリーズ（FC-780）における代表的な公称値です。中古機器の特性上、実際の接続継手形状や校正状態については現物をご確認ください。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
Tylan FC-780 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種理化学実験において広く使用されている熱式質量流量コントローラ（マスフローコントローラー）です。測定および制御ガス種はアンモニア（NH3）、最大制御流量は1SLM（Standard Liter per Minute）に設定されています。
ガス流量の測定には、ガスの質量流量に比例した熱移動を検出する熱式センサー方式を採用しており、温度や圧力の変動に影響されにくい安定した測定が可能です。内部には高精度な電磁式コントロールバルブを搭載しており、設定信号（バイアス電圧）に対して応答性が高く、迅速かつ正確な流量制御を実現します。アンモニアガスに対応した耐食性のある金属材料およびシール材が使用されており、特殊材料ガス配管系において信頼性の高いプロセス制御を支えます。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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