中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 100SCCM/NH3
- 管理番号
- Z2203170112
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | NH3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-780 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(ノーマリオープン) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 外部シール材 | Metal |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
出典: メーカー資料
Aera FC-780 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体プロセスや各種実験装置において長年の実績を持つ、高精度なアナログ制御式のマスフローコントローラーです。流量制御の心臓部にあたるアクチュエータには電磁式（ソレノイド）バルブを採用しており、設定信号に対して2秒以下という優れた応答速度と安定した流量制御能力を発揮します。本体のシール構造には、気密性とメンテナンス性に優れたエラストマー（Oリング）シールが用いられており、本個体は腐食性を有するアンモニア（NH3）ガスに対応した仕様となっています。最大制御流量は100 SCCMであり、微小なプロセスガス制御において正確なガス分配や混合比の維持に貢献します。0〜5 VDCのアナログ入出力信号に対応しているため、既存のアナログ制御システムや計測器への組み込み、および老朽化した機器からのリプレイスにも柔軟に対応可能です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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