中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 500SCCM/5％ SiH4/Ar
- 管理番号
- Z2203170114
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 濃度 | 5 % |
| 希釈ガス | Ar |
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
FC-780 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(ノーマリオープン) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 外部シール材 | Metal |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
※上記仕様は、同シリーズにおける代表的な標準スペックに基づいた参考値です。バルブ形式（常時閉/常時開）や継手の詳細など、現物固有の仕様については必ず実機をご確認ください。
出典: メーカー資料
Aera FC-780 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体プロセス、CVD（化学気相成長）装置、あるいは各種研究開発用途で広く使用されている実績豊富なアナログ式のマスフローコントローラ（MFC）です。気密性と実用性のバランスに優れたエラストマー（Vitonなど）シール構造を採用しており、長期間にわたり安定したガス流量制御を提供します。
本個体は、薄膜形成プロセス等で使用されるシラン混合ガス（5% SiH4 / Arバランス）専用に校正されています。フルスケール流量は500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）に調整されており、熱式センサ技術と高精度な電磁式比例制御弁の組み合わせにより、再現性の高い流量制御を実現します。制御信号には標準的なアナログ（0〜5 VDC）を採用しているため、既存の制御システムや各種設定器への統合、リプレイスが容易です。プロセスの安定稼働や装置のアップグレードに適した、信頼性の高い熱式質量流量制御機器です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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