中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:ガス:SiH4 流量:500SCCM
仕様:ガス:SiH4 流量:500SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜堆積装置などの分野で広く使用されている、熱式センサを搭載したアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。本個体は、高い自発火性と反応性を持つシラン（SiH4）ガス用に設計されており、最大500 SCCMの流量範囲において極めて正確で安定したガス流量制御を実現します。
接ガス部には耐食性に優れた316Lステンレス鋼などを採用しており、特殊ガス使用環境下でも優れた耐久性を発揮します。制御信号および流量出力信号には標準的なアナログ電圧（0〜5 VDC）を使用しているため、既存の製造ラインや研究開発装置への組み込み、または旧型設備の補修用部品としての載せ替えにも適しています。高精度な熱式センサとソレノイド駆動バルブの組み合わせにより、優れた再現性と安定した応答特性を維持します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: シラン（SiH4）
* **最大制御流量**: 500 SCCM（0℃、1気圧基準）
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以内（設定値の±2%以内に到達）
* **動作差圧範囲**: 約 70 kPa 〜 275 kPa（10 〜 40 psid）
* **耐圧**: 最大動作圧力 約 1.0 MPa（150 psig）
* **制御バルブ動作**: 常時閉（Normally Closed / NC）
* **接ガス部材質**: SUS316L、エラストマー等
* **動作電源**: ±15 VDC
* **制御・出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **電気コネクタ**: 20ピン カードエッジ端子（※仕様により15ピン D-subの場合があります）
* **配線接続継手**: 1/4インチ VCR（またはSwagelok継手）
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜堆積装置などの分野で広く使用されている、熱式センサを搭載したアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。本個体は、高い自発火性と反応性を持つシラン（SiH4）ガス用に設計されており、最大500 SCCMの流量範囲において極めて正確で安定したガス流量制御を実現します。
接ガス部には耐食性に優れた316Lステンレス鋼などを採用しており、特殊ガス使用環境下でも優れた耐久性を発揮します。制御信号および流量出力信号には標準的なアナログ電圧（0〜5 VDC）を使用しているため、既存の製造ラインや研究開発装置への組み込み、または旧型設備の補修用部品としての載せ替えにも適しています。高精度な熱式センサとソレノイド駆動バルブの組み合わせにより、優れた再現性と安定した応答特性を維持します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: シラン（SiH4）
* **最大制御流量**: 500 SCCM（0℃、1気圧基準）
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以内（設定値の±2%以内に到達）
* **動作差圧範囲**: 約 70 kPa 〜 275 kPa（10 〜 40 psid）
* **耐圧**: 最大動作圧力 約 1.0 MPa（150 psig）
* **制御バルブ動作**: 常時閉（Normally Closed / NC）
* **接ガス部材質**: SUS316L、エラストマー等
* **動作電源**: ±15 VDC
* **制御・出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **電気コネクタ**: 20ピン カードエッジ端子（※仕様により15ピン D-subの場合があります）
* **配線接続継手**: 1/4インチ VCR（またはSwagelok継手）