中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SiH4 流量:500SCCM
- 管理番号
- Z230331085
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※性能値は社内保管の取扱説明書「MASS FLOW CONTROLLER FC-770/780 Series(日本アエラ)」の仕様表から転記した型式一般の値。
※オプションで電流モードと異常検知機能がある(FC-770A系は異常検知機能が標準装備)。
※校正ガス以外で使うときは換算係数(コンバージョンファクタ)が必要。
出典: メーカー資料
Tylan FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
プロセスガスの質量流量を計測し、内蔵の制御バルブで設定値どおりに一定に保つマスフローコントローラーです。半導体や成膜・エッチング装置のガスラインで使われます。フルスケールレンジはN2換算で10SCCM〜5SLM、流量制御範囲はフルスケールの2〜100%です。バルブはノーマリクローズ、外部シール材はゴムです。掲載品はAr、O2、CF4、CHF3用で、流量は20SCCMから200SCCMまでです。
精度はフルスケールの±1%以下、直線性は±0.5%以下、繰り返し性は±0.2%以下、応答性はフルスケールの±2%まで2秒以内です。外部リークレートは1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下、動作差圧は49〜275kPa(d)、最大動作圧力は490kPa(g)、耐圧力は981kPa(g)、使用可能周囲温度は5〜45 ℃です。電源は+15VDCと-15VDCで、0〜5VDCの設定・出力信号、バルブの強制開閉、バルブテスト端子を備え、異常検知機能は標準装備です。
校正ガス以外で使うときは換算係数(コンバージョンファクタ)が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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