中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:ガス:N2 流量:10SCCM
仕様:ガス:N2 流量:10SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、プロセスガス（N2：窒素）の質量流量を精密に測定・制御するアナログ式のマスフローコントローラーです。フルスケール流量が10 SCCMという極めて微小な流量域に対応しており、半導体製造プロセス、理化学機器、各種研究開発用途における精密なガス流量管理に適しています。バルブの基本動作は常時閉（Normally Closed）仕様となっており、非通電時やシステム異常時には自動的に流路を遮断する安全設計が施されています。接ガス部のシールには信頼性の高いエラストマー素材が採用されており、外部へのガス漏洩を防ぎます。流量の設定および出力の確認は、標準的なアナログ信号（0〜5 VDC）を介して行われ、シンプルなシステム構成で確実なガス流量制御を実現します。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：N2（窒素）
・最大制御流量（F.S.）：10 SCCM
・制御方式：アナログ（0〜5 VDC）
・バルブ動作：常時閉（Normally Closed）
・流量制御精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2.0秒以下（設定値の±2%以内に到達する時間）
・動作差圧範囲：49〜294 kPa
・耐圧：1.47 MPa
・動作温度範囲：5〜50℃
・接ガス部メインシール材：エラストマー（フッ素ゴム等）
・外部リーク基準：1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec He 以下
※上記仕様はメーカーの同シリーズにおける標準的な公開情報に基づきます。中古機器の性質上、実際の接続形状（継手サイズ）やピンアサイン等の詳細な状態については、現物確認が必要となる場合があります。
本装置は、プロセスガス（N2：窒素）の質量流量を精密に測定・制御するアナログ式のマスフローコントローラーです。フルスケール流量が10 SCCMという極めて微小な流量域に対応しており、半導体製造プロセス、理化学機器、各種研究開発用途における精密なガス流量管理に適しています。バルブの基本動作は常時閉（Normally Closed）仕様となっており、非通電時やシステム異常時には自動的に流路を遮断する安全設計が施されています。接ガス部のシールには信頼性の高いエラストマー素材が採用されており、外部へのガス漏洩を防ぎます。流量の設定および出力の確認は、標準的なアナログ信号（0〜5 VDC）を介して行われ、シンプルなシステム構成で確実なガス流量制御を実現します。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：N2（窒素）
・最大制御流量（F.S.）：10 SCCM
・制御方式：アナログ（0〜5 VDC）
・バルブ動作：常時閉（Normally Closed）
・流量制御精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2.0秒以下（設定値の±2%以内に到達する時間）
・動作差圧範囲：49〜294 kPa
・耐圧：1.47 MPa
・動作温度範囲：5〜50℃
・接ガス部メインシール材：エラストマー（フッ素ゴム等）
・外部リーク基準：1 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec He 以下
※上記仕様はメーカーの同シリーズにおける標準的な公開情報に基づきます。中古機器の性質上、実際の接続形状（継手サイズ）やピンアサイン等の詳細な状態については、現物確認が必要となる場合があります。