中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:He 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331090
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | He |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※上記は同シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考仕様です。中古機器の特性上、継手形状（1/4インチVCR、Swagelok等）や詳細な配線ピンアサインについては、現物の外観および銘板をご確認ください。
出典: メーカー資料
Tylan FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラー（MFC）です。センサー部に熱式質量流量測定技術を採用しており、外部の温度や圧力の変動に左右されず、質量流量に基づいた安定したガス供給を実現します。本個体は、熱伝導率の高い不活性ガスであるヘリウム（He）に対応し、最大流量100 SCCMの微小かつ精密な流量制御に特化した仕様となっています。
応答性能に優れており、設定値の変更に対して迅速に追従し、安定した流量を維持します。入出力信号は標準的なアナログの0〜5 VDCに対応しており、既存のアナログ制御システムや各種電源表示ユニットとの高い互換性を備えています。シール部には気密性と耐久性に優れたエラストマー素材（バイトン等）が採用されています。長年にわたり業界の標準機として広く使用されてきた実績があり、堅牢な筐体設計と経時変化の少ない安定した動作が特徴です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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