中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-260J
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-260J
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスPH3／N2 流量300SCCM
W120 D25 H110 - 管理番号
- Z21080212
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | PH3 |
|---|---|
| 希釈ガス | N2 |
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 外形寸法 | W120 D25 H110 mm |
FC-260J の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| 流量制御範囲 | フルスケールの2〜100 % |
| バルブ | 常開(NO) |
| コントロールバルブ形式 | ノーマリーオープン サーマルバルブ |
| セットポイントレスポンス | 6 秒 |
| 精度 | フルスケールの±1 % |
| 直線性 | フルスケールの±0.5 % |
| 繰り返し精度 | フルスケールの±0.2 % |
| リークレート | 1×10⁻⁹ atm·cc/sec(He) |
| 材質(接ガス面) | SUS316L、サファイア、バイトン、ネオプレン又はカルレッツ |
| 取付方向 | 自由 |
| 作動圧 | 0.5〜2.8 kg/cm² |
| 耐圧 | 100 kg/cm² |
| 圧力影響 | 0.007 %/PSI |
| 使用温度 | 5〜43 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-260J の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置において、ガスの質量流量を精密に測定・制御するエラストマーシール（ゴムシール）方式のマスフローコントローラーです。熱式センサーによる正確な流量検知と内部の電磁式コントロールバルブのフィードバック制御により、一次側の圧力変動に左右されない安定したガス供給を実現します。
本個体は、半導体のドーピングなどで使用されるPH3（ホスフィン）のN2（窒素）希釈ガスに対応しており、フルスケール流量は300 SCCMに調整されています。応答性に優れ、設定変更に対して約2秒以下で目標流量へ追従する安定した過渡特性を備えています。外形寸法は幅120mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクトな設計となっており、限られたスペースのガスパネルや装置内配管への組み込みに適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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