中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 使用ガスAr 流量300SCCM
W115 D35 H130 - 管理番号
- Z21080217
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 外形寸法 | W115 D35 H130 mm |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや研究開発分野において確かな実績を持つ、アナログ制御方式の熱式マスフローコントローラです。バルブ機構には、電源遮断時や緊急時に自動的に流路を閉じる安全設計の「ノーマリークローズ（常時閉）」仕様を採用しています。ガスとの接触部およびシール材には、密閉性に優れたエラストマー（フッ素ゴム等）シールが用いられており、不活性ガスであるアルゴン（Ar）の精密な流量管理に最適化されています。
本個体はアルゴンガス専用として調整されており、最大300SCCM（標準状態における毎分ミリリットルと同等）までの流量を高精度に制御可能です。入出力信号は0〜5VDCのアナログ仕様に対応しており、既存システムへの組み込みや、シンプルな制御系でのセットアップが容易です。安定した再現性と確かな応答性を備えており、各種実験装置のガス供給ライン構築や、既存設備のメンテナンス・リプレイス用として安定したパフォーマンスを発揮します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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