中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 使用ガスAr 流量300SCCM
W115 D35 H130
継手スウェジロック 1／4 - 管理番号
- Z21080220
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 300 SCCM |
| 継手 | Swagelok 1/4 |
| 外形寸法 | W115 D35 H130 mm |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業用途において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式のマスフローコントローラー（MFC）です。センサー部、バイパス部、コントロールバルブ、および制御回路をコンパクトに一体化しており、外部からの制御信号に応じて、バルブの開度を高速かつ正確に調整します。本個体は、実用性の高いアルゴン（Ar）ガス仕様として調整されており、最大流量300 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの微小流量制御に適しています。ガス接触部のシール部材には信頼性の高い金属または高性能エラストマーが採用されており、プロセスのクリーン度維持と漏洩防止を両立しています。ガス配管との接続インターフェースには、半導体やガス供給設備で標準的に使用される1/4インチのスウェジロック継手が採用されているため、既存の配管ラインへ容易に組み込みが可能です。信頼性の高い熱式流量センサーにより、圧力や温度の変動に対しても極めて安定した流量制御を実現します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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