中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980C

本装置は、極めて高い気密性と制御信頼性が要求される半導体製造プロセス等で実績を持つ、熱式質量流量コントローラー（MFC）です。接ガス部にはメタルシール構造を採用しており、外部へのガス漏洩を最小限に抑え、高真空環境における不純物の混入を徹底して防ぎます。
本個体は、ガス制御において熱伝導性に優れ、リークテストやキャリアガスとして多用されるヘリウム（He）ガス専用として調整されています。最大流量は200 SCCM仕様となっており、微小なガス流量に対しても安定した高精度なコントロールが可能です。高速応答性能を備え、設定値への迅速な到達（約1秒以下）を実現するため、プロセス時間の短縮やステップ移行時の安定化に寄与します。幅130mm、奥行40mm、高さ170mmのコンパクトな筐体設計により、限られたガスパネル内スペースへの統合・配置にも適しています。