中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-D980C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスCHF3 流量100SCCM
W130 D40 H170 - 管理番号
- Z21080248
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | CHF3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 外形寸法 | W130 D40 H170 mm |
FC-D980C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| 標準継ぎ手 | 1/4"VCR |
| 取付 | ベース金具付き(全方向取付可) |
| 制御方式 | デジタル(マイコン制御) |
| コネクター | 20ピン Dサブ |
| 表示 | 前面に状態表示LED 2個(赤・緑) |
出典: メーカー資料
Aera FC-D980C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスやエッチング工程において、ガスの質量流量を高精度に制御するためのデジタルマスフローコントローラー（MFC）です。通信プロトコルにはDeviceNetを採用しており、省配線化とリアルタイムなデジタル通信による高度な流量管理を実現します。
本個体は、フッ素系エッチングガスであるCHF3（トリフルオロメタン）専用に仕様が調整されており、最大流量100 SCCMの微小流量制御に対応します。ガス放出が少なく気密性の高いメタルシール構造を採用しているため、腐食性ガスに対しても優れた耐久性を発揮し、プロセスの高クリーン化と高再現性に貢献します。応答性に優れたソレノイドバルブ制御により、設定値への迅速な追従が可能です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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