中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-D980C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSF6 流量200SCCM
W125 D37 H180 - 管理番号
- Z21080234
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SF6 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D37 H180 mm |
FC-D980C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| 標準継ぎ手 | 1/4"VCR |
| 取付 | ベース金具付き(全方向取付可) |
| 制御方式 | デジタル(マイコン制御) |
| コネクター | 20ピン Dサブ |
| 表示 | 前面に状態表示LED 2個(赤・緑) |
出典: メーカー資料
Aera FC-D980C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成などの高精度なガス制御が要求される環境で広く利用されている、メタルシール方式のデジタルマスフローコントローラです。機密性と耐食性に優れたメタルシール構造を採用しており、外部リークを最小限に抑え、クリーンで安全なガス供給ラインを構築します。対象となる動作ガスはSF6（六フッ化硫黄）で、最大流量200 SCCMまでの精密な流量測定および制御に対応します。高速な応答特性を備えており、設定値に対する迅速な追従が可能です。また、デジタルインターフェースを搭載しているため、システムへの統合やリアルタイムのモニタリング、高精度なフィードバック制御を容易に実現します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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