中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-D980C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスAr 流量200SCCM
W130 D40 H170 - 管理番号
- Z21080237
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
| 外形寸法 | W130 D40 H170 mm |
FC-D980C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| 標準継ぎ手 | 1/4"VCR |
| 取付 | ベース金具付き(全方向取付可) |
| 制御方式 | デジタル(マイコン制御) |
| コネクター | 20ピン Dサブ |
| 表示 | 前面に状態表示LED 2個(赤・緑) |
※上記仕様はメーカーの同系統シリーズにおける代表的な仕様値に基づいています。中古機器のため、個別の設定、キャリブレーション状況、コネクタのピンアサイン等については現物でのご確認を推奨いたします。
出典: メーカー資料
Aera FC-D980C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成装置、各種真空装置等で広く使用されている高精度なデジタルマスフローコントローラーです。対象ガスはAr（アルゴン）に調整されており、最大200 SCCMまでの流量を精密に制御します。高速な応答性能と優れた再現性を備えており、微小流量域においても安定したプロセスガスの供給が可能です。また、高クリーン対応のメタルシール構造を採用しているため、外部へのガス漏洩を防ぎ、高真空環境下でも信頼性の高いクリーンなガスラインを構築できます。精密なガス流量管理が必要とされる実験設備から量産ラインまで、幅広い用途に対応する設計となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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