中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-D980C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスCF4 流量100SCCM
W130 D40 H170 - 管理番号
- Z21080235
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | CF4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 外形寸法 | W130 D40 H170 mm |
FC-D980C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ | 常閉(ノーマリクローズ) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| 標準継ぎ手 | 1/4"VCR |
| 取付 | ベース金具付き(全方向取付可) |
| 制御方式 | デジタル(マイコン制御) |
| コネクター | 20ピン Dサブ |
| 表示 | 前面に状態表示LED 2個(赤・緑) |
出典: メーカー資料
Aera FC-D980C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置などで広く使用されている高精度な熱式マスフローコントローラーです。ガス種はCF4（四フッ化炭素）に対応し、最大流量100SCCMまでの精密な流量制御を実現します。優れた熱式センサー技術とデジタル制御アルゴリズムにより、高速応答かつ高い再現性を備えているのが特徴です。電磁駆動式のコントロールバルブを採用しており、微小流量域から安定した制御性能を維持します。気密性に優れたメタルシール構造を採用しているため、プロセスガスの外部漏洩を防ぎ、高真空かつ高クリーンな環境下での使用に適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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