中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスAr 流量20SCCM
W120 D32 H125 - 管理番号
- Z21080337
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Ar |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SCCM |
| 外形寸法 | W120 D32 H125 mm |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや各種理化学実験装置において、気体の質量流量を精密に測定・制御するための熱式質量流量制御装置です。対象ガスとしてアルゴン（Ar）に対応しており、最大20 SCCM（0℃、1気圧基準における標準ミリリットル/分）の微小流量域で、高い再現性と安定性を持った流量管理を実現します。
装置の内部構造は、熱式センサー、バイパス、および電磁式コントロールバルブ（常時閉型：Normally Closed）で構成されており、0〜5 VDCのアナログ入出力信号によって、外部からの目標値設定と実際の流量値のリアルタイムなモニタリングが可能です。駆動電源には標準的な±15 VDCを使用します。外形寸法は幅120mm、奥行32mm、高さ125mmとコンパクトに設計されており、限られた設置スペースやガスパネル内へのシステム統合に柔軟に対応します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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