中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスCF4 流量200SCCM
W130 D32 H127 - 管理番号
- Z21080339
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | CF4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
| 外形寸法 | W130 D32 H127 mm |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種化学気相堆積（CVD）、エッチング装置などで広く使用されている、熱式計測方式を採用したアナログ式マスフローコントローラーです。導入実績の多いロングセラーシリーズのモデルであり、信頼性の高い流量制御を実現します。今回の対象個体は、四フッ化炭素（CF4）ガス専用に調整されており、最大流量200SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの精密なガス流量制御に対応しています。
外部からの0〜5 VDCの電気信号（流量設定信号）に応じて内部の電磁式コントロールバルブを高速かつ正確に開閉し、設定された流量を維持します。また、実際に流れている流量を0〜5 VDCの出力信号（流量モニター信号）としてリアルタイムに出力するため、プロセス監視やシステムとの連動が容易です。ガスケットシール（Cシール）またはメタルシール等の継手仕様により、高い気密性とクリーン度を確保。経年変化が少なく、安定した再現性を維持する熱式センサー技術により、微小流量域においても正確な制御性能を提供します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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