中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780
本体価格(税別、送料別)30,000円
この商品を問い合わせる
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
同じ型式の在庫がほかに2台あります → 中古 Aera FC-780 の在庫3台を比べる
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- 500SCCM/N2O
- 管理番号
- Z2203170113
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2O |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
FC-780 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(ノーマリオープン) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下 |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下 |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 外部シール材 | Metal |
| 応答性 | 1秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰以下(He) atm·cc/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 流量設定出力信号 | 0〜5VDC |
| 駆動電源 | +15VDC±2% 25mA、-15VDC±2% 180mA |
出典: メーカー資料
Aera FC-780 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜形成装置において、精密なガス流量管理を行うために広く採用されているエラストマー（ゴム）シール方式の熱式マスフローコントローラ（MFC）です。本個体は、特定のプロセスガスであるN2O（亜酸化窒素）に対応し、最大流量500 sccmの制御範囲に調整されています。
熱式センサーと高速比例電磁弁の組み合わせにより、ステップ変化に対して2秒以下という迅速な応答性能を誇り、プロセスの過渡期における流量の乱れを最小限に抑えます。制御精度は±1.0% F.S.（フルスケール）、再現性は±0.2% F.S.と極めて高く、長期間の使用においても安定したプロセス再現性を維持します。接ガス部には耐食性に優れたSUS316Lを採用しており、信頼性の高いアナログ制御（0〜5 VDC）によって正確なシステム構築が可能です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
同じ型式 FC-780 の在庫
マスフローコントローラー（MFC）
Tylan
FC-780
30,000円
問い合わせるZ230331094
マスフローコントローラー（MFC）
Tylan
FC-780
30,000円
問い合わせるZ230331091
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
FC-780
30,000円
問い合わせるZ2203170114
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
FC-780
30,000円
問い合わせるZ2203170112
ほかのマスフローコントローラー（MFC）の在庫
マスフローコントローラー（MFC）の在庫をすべて見る(223点) ›
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
FC-780C
30,000円
問い合わせるZ241011022
マスフローコントローラー（MFC）の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー（MFC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。