中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SiH4 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331084
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや各種真空成膜装置において、ガスの質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式の熱式マスフローコントローラーです。シランガス（SiH4）用に設計・調整されており、最大制御流量は100 SCCMの仕様となっています。シランのような反応性・可燃性の高い特殊材料ガスを安全かつ正確に制御するため、高い気密性と信頼性を備えています。
内部構造には、高精度な熱式センサーと応答性に優れた電磁式コントロールバルブを搭載。設定値の変更に対して2秒以下で追従する高速応答性を持ち、プロセスの安定化に寄与します。また、制御バルブには常時閉（Normally Closed）方式を採用しているため、予期せぬ停電やトラブルによる制御信号の遮断時にも自動的にガス流路を閉止し、安全を確保します。研究開発用や既存設備のメンテナンス用（保守部品）として、幅広い用途に対応可能な実用性の高いコンポーネントです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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