中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SiH4 流量:500SCCM
- 管理番号
- Z230331085
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜堆積装置などの分野で広く使用されている、熱式センサを搭載したアナログ制御方式のマスフローコントローラーです。本個体は、高い自発火性と反応性を持つシラン（SiH4）ガス用に設計されており、最大500 SCCMの流量範囲において極めて正確で安定したガス流量制御を実現します。
接ガス部には耐食性に優れた316Lステンレス鋼などを採用しており、特殊ガス使用環境下でも優れた耐久性を発揮します。制御信号および流量出力信号には標準的なアナログ電圧（0〜5 VDC）を使用しているため、既存の製造ラインや研究開発装置への組み込み、または旧型設備の補修用部品としての載せ替えにも適しています。高精度な熱式センサとソレノイド駆動バルブの組み合わせにより、優れた再現性と安定した応答特性を維持します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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