中古 Tylan マスフローコントローラー(MFC) FC-770AC
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-770AC
- 機種
- マスフローコントローラー(MFC)
- 仕様
- ガス:He 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331089
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | He |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
FC-770AC の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND/COMMON/OUTPUT 0〜5VDC/+15VDC/(OUTPUT 0〜2.5mA)/VALVE TEST PT./CONTROL 0〜5VDC/COMMON(VALVE RTN.)/VALVE OPEN・CLOSE/-15VDC/(ALARM OUT H・L)/(ALARM OFF) |
|---|---|
| 標準装備 | 異常検知機能 |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Rubber(ゴム) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 2秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁶atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻⁷Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.5〜2.8kgf/cm²(d)〈49〜275kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※仕様値はメーカー提供の同シリーズ代表データに基づく参考値です。中古品のため、実際の状態や校正・調整によって異なる場合があります。
出典: メーカー資料
Tylan FC-770AC の装置概要 AIによる記述です
本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラです。対象ガスはヘリウム(He)に調整されており、最大流量100 SCCMに対応した設計となっています。内部に搭載された熱式センサーと高速応答の電磁式比例弁により、一次側の供給圧力や周囲温度の変動に左右されることなく、設定された流量に対して安定かつ迅速なガス供給を維持します。長年にわたり半導体製造プロセス、各種真空装置、理化学分析機器などのガス導入ラインで広く採用されてきた実績を持ち、アナログ制御システムへの統合に適しています。研究開発から生産設備まで、高精度な雰囲気制御やプロセス管理に寄与する信頼性の高いモデルです。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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