中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Unit
型式UFC-1100
年式表記：
仕様:ガス:N2 流量:5SLM
仕様:ガス:N2 流量:5SLM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体流量を質量に基づいて精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラ（MFC）です。半導体製造プロセスや各種実験装置、産業用ガス制御ラインにおいて、長年にわたり豊富な採用実績を持つアナログ制御タイプのモデルです。
内部の熱式センサーによりガスの質量流量を直接検知するため、周囲の温度や圧力の変動に影響されない安定した流量制御を実現します。シール部にはバイトンなどのエラストマー素材が採用されており、不活性ガスをはじめとする非腐食性ガスの制御において、優れた密閉性と高いコストパフォーマンスを両立しています。
本個体は窒素（N2）ガス専用として、最大5 SLM（標準状態換算リットル/分）の流量制御に対応するよう調整されています。制御信号および流量出力信号には一般的な0〜5 VDCのアナログ電圧信号を使用するため、既存のアナログ計測システムへの組み込みや、旧型設備のメンテナンス用・交換用パーツとして適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** N2（窒素）
* **フルスケール流量：** 5 SLM
* **制御方式：** アナログ制御
* **入出力信号：** 0 ～ 5 VDC
* **流量精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2.0秒以下（ステップ変化時98%到達まで）
* **動作差圧範囲：** 70 ～ 275 kPa（10 ～ 40 psid）
* **耐圧（最大動作圧力）：** 1.03 MPa（150 psig）
* **動作温度範囲：** 5 ～ 45℃
* **接ガス部主要材質：** SUS316、SUS316L
* **シール材質：** エラストマー（バイトン等）
* **駆動電源：** +15 VDC（約100 mA）/ -15 VDC（約200 mA）
* **電気コネクタ仕様：** D-sub端子またはカードエッジ端子（※個体現物の仕様をご確認ください）
* **ガス接続（継手）：** 1/4インチ（VCRまたはSwagelok等、※個体現物の仕様をご確認ください）
本装置は、気体流量を質量に基づいて精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラ（MFC）です。半導体製造プロセスや各種実験装置、産業用ガス制御ラインにおいて、長年にわたり豊富な採用実績を持つアナログ制御タイプのモデルです。
内部の熱式センサーによりガスの質量流量を直接検知するため、周囲の温度や圧力の変動に影響されない安定した流量制御を実現します。シール部にはバイトンなどのエラストマー素材が採用されており、不活性ガスをはじめとする非腐食性ガスの制御において、優れた密閉性と高いコストパフォーマンスを両立しています。
本個体は窒素（N2）ガス専用として、最大5 SLM（標準状態換算リットル/分）の流量制御に対応するよう調整されています。制御信号および流量出力信号には一般的な0〜5 VDCのアナログ電圧信号を使用するため、既存のアナログ計測システムへの組み込みや、旧型設備のメンテナンス用・交換用パーツとして適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス：** N2（窒素）
* **フルスケール流量：** 5 SLM
* **制御方式：** アナログ制御
* **入出力信号：** 0 ～ 5 VDC
* **流量精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2.0秒以下（ステップ変化時98%到達まで）
* **動作差圧範囲：** 70 ～ 275 kPa（10 ～ 40 psid）
* **耐圧（最大動作圧力）：** 1.03 MPa（150 psig）
* **動作温度範囲：** 5 ～ 45℃
* **接ガス部主要材質：** SUS316、SUS316L
* **シール材質：** エラストマー（バイトン等）
* **駆動電源：** +15 VDC（約100 mA）/ -15 VDC（約200 mA）
* **電気コネクタ仕様：** D-sub端子またはカードエッジ端子（※個体現物の仕様をご確認ください）
* **ガス接続（継手）：** 1/4インチ（VCRまたはSwagelok等、※個体現物の仕様をご確認ください）