中古 Unit マスフローコントローラー（MFC） UFC-1100
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Unit
- 型式
- UFC-1100
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:HE 流量:20SCCM
- 管理番号
- Z230331081
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | He |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 20 SCCM |
| 現品ラベルの型式 | UFC-1100(Unit Instruments) |
UFC-1100 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 最大使用圧力 | 500 PSI |
| 接ガス部材質 | 316ステンレス、ニッケル、モネル |
| シール材 | バイトン、ネオプレン、TOV(使用ガスによる) |
| 外形寸法 | 高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mm(継手を除く) |
| 取付 | 8-32 取付穴(底面、間隔70mm) |
| 標準継手と全長 | Swagelok 1/4"=127mm、VCR 1/4"=124mm、VCO 1/4"=118mm |
| 零点調整 | 本体側面のゼロポット調整 |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + フラックスコントロールバルブ |
※本仕様はメーカーの標準的な代表値です。経年や個別調整により異なる場合がありますので、現物のポート形状やラベル情報もあわせてご確認ください。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
Unit UFC-1100 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセス、理化学研究、各種真空薄膜形成装置などにおいて、気体の質量流量（マスフロー）を極めて正確に測定・制御するための熱式マスフローコントローラーです。
本個体は、優れた熱伝導性を持ちプロセスガスやパージガスとして多用されるヘリウム（He）ガス用に調整されており、最大流量20 sccm（Standard Cubic Centimeters per Minute）の微小流量域における精密なガス供給に対応します。
制御および駆動には実績のあるアナログ方式を採用しており、±15 VDCの電源駆動のもと、0〜5 VDCの電圧信号による流量設定および実流量の出力モニタリングを行います。内部の熱式センサーと比例電磁弁の連携により、一次側の圧力変動に対しても高い再現性と安定した応答性能を発揮します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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