中古 Unit マスフローコントローラー（MFC） UFC-1100

本装置は、半導体製造プロセスや各種産業・研究開発において、ガスの質量流量を精密に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。測定原理に熱式センサーを採用しており、周囲の温度や圧力の変動に影響されることなく、常に安定した質量流量の制御を可能にします。

本個体は、対象ガスがヘリウム（He）、最大制御流量が20 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）として校正されています。ヘリウムのような熱伝導率が高く、極めて漏洩しやすい不活性ガスに対しても、高精度かつ高い再現性をもって微小流量を制御します。制御信号には標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力に対応し、±15 VDCの外部電源で動作します。アナログ制御方式ならではのシンプルなシステム構成と、長年にわたり産業界で広く使用されてきた確かな信頼性を備えており、既存設備の交換用メンテナンスパーツや、実験・評価用セットアップの流量制御部として適しています。