中古 Unit マスフローコントローラー（MFC） UFC-1100
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- メーカー
- Unit
- 型式
- UFC-1100
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SiH4 流量:500SCCM
- 管理番号
- Z230331077
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 現品ラベルの型式 | UFC-1100(Unit Instruments) |
UFC-1100 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 最大使用圧力 | 500 PSI |
| 接ガス部材質 | 316ステンレス、ニッケル、モネル |
| シール材 | バイトン、ネオプレン、TOV(使用ガスによる) |
| 外形寸法 | 高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mm(継手を除く) |
| 取付 | 8-32 取付穴(底面、間隔70mm) |
| 標準継手と全長 | Swagelok 1/4"=127mm、VCR 1/4"=124mm、VCO 1/4"=118mm |
| 零点調整 | 本体側面のゼロポット調整 |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + フラックスコントロールバルブ |
※上記仕様は同シリーズの標準的なカタログデータに基づく参考値です。中古機器の性質上、実機のコネクタピン配列や接続継手、校正状況などの詳細については、必ず現物の外観および銘板をご確認ください。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
Unit UFC-1100 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や薄膜堆積プロセスなどの高度なガス制御を必要とする環境で広く採用されてきた、メタルシールタイプのアナログマスフローコントローラーです。
気密性と耐食性に極めて優れたメタルシール構造を採用しているため、安全管理が厳しく求められる特殊材料ガスの制御に適しています。
本個体は、半導体プロセスで多用されるシラン系ガスであるモノシラン（SiH4）用に調整されており、最大流量500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までのガス流量を、高い再現性をもって精密に制御可能です。
内部には熱対流式流量センサと、応答性に優れた比例電磁弁を搭載しており、経時変化が少なく安定したプロセスガス制御を提供します。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力モニターに対応しており、既存のアナログ制御システムや各種実験・製造装置への組み込み、リプレイスに最適な仕様となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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