中古 Unit マスフローコントローラー（MFC） UFC-1100
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Unit
- 型式
- UFC-1100
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:SiH4 流量:500SCCM
- 管理番号
- Z230331078
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 現品ラベルの型式 | UFC-1100(Unit Instruments) |
UFC-1100 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 最大使用圧力 | 500 PSI |
| 接ガス部材質 | 316ステンレス、ニッケル、モネル |
| シール材 | バイトン、ネオプレン、TOV(使用ガスによる) |
| 外形寸法 | 高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mm(継手を除く) |
| 取付 | 8-32 取付穴(底面、間隔70mm) |
| 標準継手と全長 | Swagelok 1/4"=127mm、VCR 1/4"=124mm、VCO 1/4"=118mm |
| 零点調整 | 本体側面のゼロポット調整 |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + フラックスコントロールバルブ |
※中古機器の性質上、実際のコネクタピン配置（カードエッジまたはD-subなど）や継手形状（VCRなど）は、現物機体の写真および仕様を必ずご確認ください。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
Unit UFC-1100 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や薄膜形成プロセスにおいて欠かせない、極めて高い信頼性を誇るアナログ制御式のマスフローコントローラーです。ガス種は「SiH4（モノシラン）」に対応し、フルスケール「500 SCCM」の流量制御能力を有しています。
内部に搭載された高精度な熱式質量流量センサーと電磁式コントロールバルブにより、周囲の温度や圧力の変動に左右されることなく、常に安定したガス流量を維持します。優れた再現性と2秒以下という迅速な応答性を兼ね備えており、微細なプロセス管理が要求される研究開発から生産ラインまで幅広く対応可能です。耐久性に優れた頑丈なメタルボディ構造を採用しており、経年変化が少なく長期にわたり安定稼働をサポートするロングセラーモデルの1台です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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