中古 Unit マスフローコントローラー（MFC） UFC-1100
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Unit
- 型式
- UFC-1100
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:HCL 流量:100SCCM
- 管理番号
- Z230331083
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | HCl |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 現品ラベルの型式 | UFC-1100(Unit Instruments) |
UFC-1100 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| 校正ガス | N2(窒素) |
|---|---|
| 最大使用圧力 | 500 PSI |
| 接ガス部材質 | 316ステンレス、ニッケル、モネル |
| シール材 | バイトン、ネオプレン、TOV(使用ガスによる) |
| 外形寸法 | 高さ137mm × 幅38mm × 前面高さ101mm(継手を除く) |
| 取付 | 8-32 取付穴(底面、間隔70mm) |
| 標準継手と全長 | Swagelok 1/4"=127mm、VCR 1/4"=124mm、VCO 1/4"=118mm |
| 零点調整 | 本体側面のゼロポット調整 |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + フラックスコントロールバルブ |
※上記の仕様情報はシリーズ共通の代表的な設計値に基づく参考情報です。中古機器の性質上、実際の配線ピンアサインや継手、キャリブレーション状態などの詳細については必ず現物をご確認の上ご使用ください。
出典: 現品の銘板、メーカー資料
Unit UFC-1100 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする高精度なガス制御が求められる環境で広く採用されてきた、実績のあるアナログ式マスフローコントローラーです。
本個体は、腐食性ガスである塩化水素（HCl）に対応した設計となっており、最大流量（フルスケール）は100 SCCMに設定されています。
内部には精密な熱式流量センサと、応答性に優れたソレノイド駆動のコントロールバルブを搭載しており、ガス流量の変動に対して迅速かつ安定した制御を行います。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力に対応しているため、既存のアナログシステムやプロセス制御機器へ容易に統合可能です。堅牢な構造と経年変化の少ない信頼設計により、厳しいプロセス環境においても安定したガス供給ラインの構築をサポートします。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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