中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体プロセスや真空薄膜形成装置などで広く実績を持つ、メタルシール方式のマスフローコントローラーです。ガスラインのクリーンネスと高い気密性を確保するメタルガスケットシール構造を採用しており、微小流量域でも安定したガス制御が可能です。内部の制御バルブには応答性に優れたソレノイドバルブが搭載されており、設定値に対して迅速かつ正確に追従します。

本個体はヘリウム（He）ガス専用として校正されており、最大流量は10 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の仕様となっています。これにより、キャリアガスの微量供給や、精密なリークテスト、分析装置へのガス導入など、微小な不活性ガス流量を高い再現性で管理する用途に最適です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: ヘリウム (He)
* **フルスケール流量**: 10 SCCM
* **シール材質**: メタルシール
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S. (フルスケール)
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答速度**: 2秒以下
* **動作差圧範囲**: 100 ～ 300 kPa
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **外部リークレート**: 1 × 10^-11 Pa・m³/sec (He) 以下
* **動作温度範囲**: 5 ～ 50℃
* **制御バルブ動作**: ソレノイド駆動・ノーマリークローズ（常時閉）
* **アナログ入出力信号**: 0 ～ 5 VDC
* **動作電源**: ±15 VDC (±5%)
* **配管接続継手**: 1/4インチ VCR相当

※中古機器の性質上、実際のコネクタピン配置や継手の詳細仕様、校正状態については現品を優先してください。