中古 アルバック Ulvac マルチセンサ CRTS-12

本装置は、真空蒸着やスパッタリングなどの真空成膜プロセスにおいて、リアルタイムで膜厚および成膜レートを計測するための水晶振動子式センサヘッドです。最大12個の水晶振動子をあらかじめ装填できるマルチロータリー機構を採用しており、長期間の連続成膜プロセスや、複数の異なる材料を積層する多層膜プロセスにおいて極めて有効に機能します。

成膜中に使用中の水晶振動子が寿命に達したり、突発的な異常が発生したりした場合でも、真空状態を破ることなく外部からの制御で速やかに次段の水晶振動子へ自動または手動で切り替えることが可能です。これにより、装置のダウンタイムを大幅に削減し、安定した生産効率を維持します。

さらに、水冷機構を備えているため、高温となる蒸発源付近の過酷な熱環境下においてもセンサヘッドの温度変動を最小限に抑えます。熱による水晶振動子の周波数ドリフトを防ぐことで、ナノメートルオーダーの高精度な膜厚制御を安定して実現します。主に同社製の膜厚コントローラ（CRTMシリーズ等）と組み合わせて使用され、研究開発用の小型装置から量産ラインの大型真空装置まで、幅広い設備に組み込み可能な設計となっています。