中古 アルバック Ulvac その他真空部品（大気圧センサー） SAU

真空装置のプロセスチャンバーやロードロック室が、大気圧に復帰したことを正確に検知・確認するために使用される大気圧専用のセンサーです。内部には半導体ピエゾ抵抗効果を利用したセンサーチップを搭載しており、大気圧付近の圧力を安定して測定する構造となっています。

一般的な真空計は低真空から高真空領域の測定に特化していますが、本器は10,000 Paから110,000 Pa（絶対圧）の大気圧領域の測定を専用の目的としています。装置の扉やゲートバルブを開放する前の確実な大気圧確認や、他の絶対圧真空計と組み合わせてゲージ圧（大気圧との差圧）を算出するための基準圧測定など、真空システムの自動制御および安全運用（フェイルセーフ）において重要な役割を果たします。

測定された圧力値は、測定圧力範囲に対してDC 1 Vから5 Vの電圧としてリニアにアナログ出力されるため、PLCなどの上位制御機器による信号処理が容易です。表示器を持たないトランスデューサー（センサーユニット単体）であり、装置内への組み込みに適したコンパクトな設計となっています。