中古 ファイファー Pfeiffer バキュームゲージ PPT100

本装置は、大気圧から中真空領域にかけての幅広い圧力測定を1台でカバーする複合型バキュームゲージです。内部にピエゾ抵抗センサーとピラニ（熱伝導）センサーという2つの異なる測定素子を内蔵しており、圧力帯に応じて最適な測定原理をシームレスに切り替える機構を備えています。

具体的には、10 hPa以上の高圧力帯ではピエゾセンサーによって圧力を測定します。この領域では測定値がチャンバー内のガス種に依存しないため、大気圧付近での正確な絶対圧モニタリングが可能です。一方、10 hPa未満の中真空領域ではピラニセンサーに切り替わり、下限1×10^-4 hPaまでの微小な真空度を精密に検知します。これにより、大気圧からのポンプダウン工程や、ロードロック室の圧力制御といった、連続的な真空排気プロセスの監視において極めて信頼性の高いデータを提供します。

また、センサー内部のシール材には耐久性に優れたFKM（フッ素ゴム）が使用されており、最大2000 hPaの過圧にも耐えうる堅牢な設計となっています。アナログ電圧での対数信号出力に対応しており、既存の真空装置の制御盤やPLCシステムへ容易に組み込むことが可能です。