中古 ファイファー Pfeiffer バキュームゲージ PPT100

本装置は、大気圧から中真空領域までの幅広い圧力範囲を高精度に測定するために設計された、ピラニ・ピエゾ複合型のバキュームゲージ（真空計）です。内部に熱伝導を利用したピラニセンサーと、隔膜の変位を利用したピエゾ抵抗センサーの2種類の異なる測定素子を統合しています。これにより、1.0 × 10^-4 mbarの低真空領域から1200 mbarまでの圧力を単一のゲージでシームレスかつ安定してモニタリングすることが可能です。

本装置の最大の特徴は、大気圧付近（高圧力帯）においてピエゾセンサーによる絶対圧測定を行う点にあります。この領域では測定値がチャンバー内の残留ガス種に依存しないため、ベント（大気開放）時の正確な圧力検知や、ロードロック室の確実な圧力制御プロセスに貢献します。また、複数のセンサーをコンパクトな筐体に収めることで、真空システムの省スペース化と配線の簡略化を実現しています。半導体製造装置、各種分析機器、および研究開発用チャンバーなどにおけるインターロック制御や、プロセスの圧力監視用として高い信頼性を発揮する設計となっています。