中古 ファイファー Pfeiffer バキュームゲージ HPT100

本装置は、大気圧から超高真空領域までの広範な圧力を単一のユニットで連続的に測定できるコンビネーション（複合）真空計です。内部には、低真空域（大気圧〜中真空）を測定するピラニ真空計と、高真空・超高真空域を測定するベアード・アルバート型熱陰極電離真空計の2つのセンサーが統合されています。測定圧力に応じてこの2つのセンサーがシームレスかつ自動的に切り替わるため、複数の真空計を個別に設置する必要がなくなり、真空配管やシステムの省スペース化および制御の簡略化に貢献します。

熱陰極センサー部には、耐腐食性や長寿命に優れるイットリアコートイリジウム（Y2O3/Ir）フィラメントが採用されており、突発的な大気流入などの圧力上昇時にもフィラメントの断線リスクが低減されるよう設計されています。測定された圧力値は、全範囲にわたり連続した対数リニアのアナログ信号として出力されるため、外部のPLCやコントローラーへの接続・データ取り込みも容易です。半導体製造プロセス、各種コーティング装置、分析機器、および研究開発用の真空チャンバーなど、高精度かつ幅広い圧力モニタリングが求められる環境に適しています。