中古 ファイファー Pfeiffer バキュームゲージ PPT100

本装置は、大気圧付近から低真空領域までの広範囲な圧力を連続して測定するために設計されたコンビネーション真空計トランスミッターです。内部には、気体の熱伝導率を利用して圧力を検知する「ピラニセンサー」と、圧力による隔膜の物理的変位を検知する「ピエゾ（圧電）センサー」という2種類の異なる測定機構が組み込まれています。

高圧力域（およそ数十hPa～大気圧）では、測定対象のガス種に依存せずに高精度な測定が可能なピエゾセンサーが機能し、低圧力域（1×10⁻⁴ hPa～数十hPa）では微小な圧力変化に敏感なピラニセンサーが機能します。この複合機構により、1×10⁻⁴ hPaから1200 hPaまでの全域を単一の装置でシームレスに測定することが可能です。

センサー部と電子制御回路はコンパクトで堅牢な筐体内に一体化されており、測定された圧力値は対数リニアなアナログ電圧信号として出力されます。専用の外部コントローラーを必要とせず、直接PLCや上位の制御システムに接続できるため、真空チャンバーの粗引き排気プロセスの監視、高真空ポンプへの動作切り替え（クロスオーバー）の制御、およびインターロック用の安全センサーとして、分析機器や半導体製造装置などに広く採用されています。