中古 ファイファー Pfeiffer バキュームゲージ PPT100

本装置は、ピエゾ抵抗（ダイヤフラム）センサーとピラニ（熱伝導）センサーを組み合わせた複合型真空トランスミッターです。単一の筐体に2つの異なる測定原理を統合することにより、1×10^-4 hPaの中真空領域から1200 hPaの大気圧を超える圧力まで、連続的かつ広範な測定を実現しています。

大気圧から約10 hPaまでの高圧領域ではピエゾ抵抗センサーが機能し、測定対象のガス種に依存しない絶対圧測定を行います。これにより、チャンバー大気開放時の確実な圧力確認や、ロードロック室の正確な排気制御が可能となります。一方、約10 hPa以下の低圧領域ではピラニセンサーが作動し、気体の熱伝導率を利用して真空度を検知します。これら2つのセンサー間の信号切り替えは装置内部で自動的に処理され、全測定範囲にわたって1V/decadeの連続した対数アナログ電圧として出力されるため、PLCなどの外部制御機器への組み込みが容易に行えます。

主な用途として、半導体製造装置や各種分析機器における真空チャンバーの粗引き・中真空ラインのモニタリング、真空ポンプの制御、およびシステムのインターロック用センサーとして運用されます。