中古 アルバック Ulvac マルチセンサ CRTS-12

真空蒸着やスパッタリングなどの薄膜形成プロセスにおいて、成膜レート（堆積速度）および膜厚をリアルタイムで高精度にモニタリング・制御するための水晶発振式膜厚計用センサヘッドです。本装置の最大の特徴は、内部に12個の水晶振動子を同時に装填できるマルチセンサ（リボルバー）機構を搭載している点です。プロセス中に使用中の水晶振動子が寿命に達して発振が不安定になった場合や、多層膜成膜において材料ごとにモニタリングを切り替えたい場合でも、真空チャンバーを大気開放することなく、即座に次の新しい水晶振動子へ切り替えることが可能です。これにより、長時間の連続稼働が求められる量産プロセスや、チャンバー開放による真空引き直しを避けたい環境下でのダウンタイムを大幅に削減し、スループットの向上に大きく貢献します。

また、センサ本体には水冷機構が組み込まれており、高温の蒸発源からの輻射熱による水晶振動子の温度上昇や熱ドリフトを効果的に抑制します。これにより、熱負荷の高いプロセス環境下でも安定した膜厚計測を維持できます。水晶振動子の切り替え機構は精密なモータ駆動によって制御され、真空環境下においても正確で再現性の高いポジション合わせを実現しています。長時間の連続成膜や複雑な多層膜プロセスにおいて、高い信頼性と計測精度の維持が求められる真空装置に最適なコンポーネントです。