中古 アルバック Ulvac マルチセンサ CRTS-12

真空蒸着やスパッタリングなどの薄膜形成プロセスにおいて、成膜レートおよび膜厚をリアルタイムで計測・制御する水晶振動子式膜厚計用のマルチセンサーヘッドです。長時間の連続成膜や厚膜・多層膜の形成など、水晶振動子の消耗が激しいプロセス向けに設計されています。

本機は内部に最大12個の水晶振動子を装填可能なロータリー（回転）機構を備えており、稼働中の振動子が限界寿命（発振停止やレート異常）に達した際、真空チャンバーを大気開放することなく、駆動機構により即座に次の新しい振動子へポジションを切り替えることが可能です。これにより、装置のダウンタイムとメンテナンス頻度を大幅に削減し、安定した連続生産をサポートします。

高温の蒸発源からの輻射熱による計測誤差やセンサー損傷を防ぐための水冷機構を内蔵しています。同シリーズの6個装填モデルと比較して倍の装填数を持つ本機は、特に長時間の連続無人運転や高レートでの成膜が要求される量産用真空プロセスにおいて非常に有効なコンポーネントです。