中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-D980
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスNH3 流量500SCCM
W125 D37 H160 - 管理番号
- Z21080240
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | NH3 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D37 H160 mm |
FC-D980 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ | 常開(ノーマリオープン) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| 標準継ぎ手 | 1/4"VCR |
| 取付 | ベース金具付き(全方向取付可) |
| 制御方式 | デジタル(マイコン制御) |
| コネクター | 20ピン Dサブ |
| 表示 | 前面に状態表示LED 2個(赤・緑) |
出典: メーカー資料
Aera FC-D980 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体や電子デバイスの製造プロセスにおいて精密なガス流量制御を行う、DeviceNet通信対応のデジタルマスフローコントローラーです。腐食性ガスであるアンモニア（NH3）に対応した設計となっており、最大500 SCCMまでの微少流量を安定して制御します。デジタル信号処理技術を搭載しているため、ステップ変化に対して1秒以下という高速かつ安定した応答特性を発揮し、プロセスの再現性向上に貢献します。また、接ガス部にはメタルシールを採用しており、外部へのガス漏洩や外部からの大気混入を極限まで防ぐ高気密性を確保しています。コンパクトな外形寸法（W125mm × D37mm × H160mm）であり、限られたスペースへの設置や既存システムへの組み込み、交換作業もスムーズに行うことが可能です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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