中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-D980
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスN2 流量200SCCM
W125 D37 H180 - 管理番号
- Z21080244
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | N2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D37 H180 mm |
FC-D980 の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| バルブ | 常開(ノーマリオープン) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| 標準継ぎ手 | 1/4"VCR |
| 取付 | ベース金具付き(全方向取付可) |
| 制御方式 | デジタル(マイコン制御) |
| コネクター | 20ピン Dサブ |
| 表示 | 前面に状態表示LED 2個(赤・緑) |
出典: メーカー資料
Aera FC-D980 の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造プロセスや精密な研究開発分野で広く信頼されている高精度デジタルマスフローコントローラです。メタルシール構造を採用しているため、外部へのガス漏洩や水分・大気成分の混入（アウトガス）を極限まで低減し、超高真空や高純度が求められるプロセス環境に最適です。通信規格にはDeviceNetを採用しており、デジタル制御によるリアルタイムな流量測定と迅速なコマンド処理を可能にします。本個体はN2（窒素）ガス専用に調整されており、最大流量200SCCMに対応します。1.0秒以下という優れた高速応答性能を備えており、プロセスの立ち上がり時や流量変更時にもブレのない極めて安定したガス供給を実現します。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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