中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980

本装置は、半導体製造プロセスや各種精密熱処理プロセスなどの高度なガス流量制御が要求される環境において、確かな実績を持つデジタル式のマスフローコントローラです。気密性と高クリーン性を兼ね備えたメタルシール構造を採用しており、高純度ガスや各種反応性ガスの制御に極めて高い信頼性を発揮します。

デジタル信号処理（DSP）技術の搭載により、高精度かつ1.0秒以下という優れた高速応答特性を維持しながら、ガス供給ラインでの急激な一次圧変動に対しても安定した流量制御が可能です。本個体はO2（酸素）ガス専用として調整されており、フルスケール流量は50 SCCMです。バルブ機構には、非通電時に閉状態となる安全性の高い常閉（Normally Closed）タイプを採用しています。周囲温度の変化に対する優れた補償機能を有し、長期にわたり一貫した制御精度を提供します。