中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980

本装置は、半導体プロセスや各種精密工業において安定したガス流量制御を提供する、高精度なマスフローコントローラー（MFC）です。気密性に優れたメタルシール構造（または高耐久エラストマー）を採用しており、外部への漏洩を極限まで抑えたクリーンな動作環境を維持します。熱線式（サーマル）センサーと高速応答の電磁弁を搭載することで、温度や圧力の変動に左右されない正確な質量流量の測定と、迅速な流量フィードバック制御を実現します。本個体はO2（酸素）ガス専用に調整されており、フルスケール流量50SCCMの微小流量域で精密なフローコントロールを行います。通信インターフェースにはDeviceNetを採用しており、上位制御システムからの高精度なデジタルコマンド制御およびリアルタイムな流量モニタリングが可能です。薄膜堆積プロセス、研究開発用の実験設備、各種分析装置などの安定したガス雰囲気制御に適しています。