中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980

本装置は、半導体製造プロセスや高精度な薄膜堆積装置、各種ガス制御システムにおいて広く採用されているメタルシール仕様のデジタルマスフローコントローラーです。熱式センサーを用いた質量流量測定方式と、高速応答性に優れたソレノイドバルブを組み合わせることで、安定したガス流量制御を行います。内部に搭載されたデジタル回路により、一次側の供給圧力変動が生じた際にも迅速に補正を行い、安定した流量を維持できるのが特徴です。接液部にはクリーン度の高い金属シール構造を採用しており、ガスの放出や外部へのリークを極限まで低減しているため、高純度ガスや各種反応性ガスの制御に適しています。本個体は窒素ガス（N2）専用として設定されており、最大1000SCCM（1SLM）までの制御に対応する高精度モデルです。