中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-D980

本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野において高精度なガス流量制御を実現するデジタルマスフローコントローラー（MFC）です。世界的に実績のあるブランドの技術をベースに開発され、デジタル回路の搭載により、従来の加熱式センサーの特性を最大限に引き出しつつ、優れた応答性と安定性を両立しています。

本個体は、希ガスであるヘリウム（He）ガス専用として調整されており、最大流量200 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの微小流量領域を正確に制御可能です。デジタル通信（DeviceNet等の各種インターフェース仕様が存在）に対応した制御システムへの組み込みに適しており、経時変化や温度変化に強い高い信頼性を備えています。コンパクトな筐体設計により、限られたガスパネルスペースへも効率的な配置が可能です。