中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
見積・送料・動作確認の結果をご案内します。通常1営業日以内にご返信します。
同じ型式の在庫がほかに7台あります → 中古 Aera FC-780C の在庫8台を比べる
- 実機を見に来ていただけます(事前にご連絡ください)
- 大学・公的機関は後払い(請求書払い)できます
- 支払い・納期・返品について(よくある質問)
- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスCl2 流量200SCCM
W125 D30 H135 - 管理番号
- Z21080227
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | Cl2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D30 H135 mm |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
※性能値は社内保管の取扱説明書「MASS FLOW CONTROLLER FC-770/780 Series(日本アエラ)」の仕様表から転記した型式一般の値。
※オプションで電流モードと異常検知機能がある(FC-770A系は異常検知機能が標準装備)。
※校正ガス以外で使うときは換算係数(コンバージョンファクタ)が必要。
出典: メーカー資料
Aera FC-780C の装置概要 AIによる記述です
半導体製造装置や真空プロセス装置で、反応ガスやキャリアガスの質量流量を計測し、内蔵の制御バルブで設定値どおりに流すためのマスフローコントローラーです。外部シールにメタルを用い、バルブはノーマリクローズ形です。フルスケールレンジはN2換算で10SCCM〜5SLM、流量制御範囲はフルスケールの2〜100%で、フルスケールの±2%までの応答は1秒以内です。
性能はフルスケールに対して精度±1%以下、直線性±0.5%以下、繰り返し性±0.2%以下です。外部リークレートは1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下、動作差圧は29〜294kPa(d)、最大動作圧力は490kPa(g)、耐圧力は981kPa(g)、使用可能周囲温度は5〜45 ℃です。設定入力と流量出力はともに0〜5VDCで、電源は+15VDCと-15VDCです。コネクタにはバルブの強制開閉端子とバルブテスト用端子もあります。外形寸法は124(L)×32(W)×122(H) mmです。
電流出力と異常検知はオプションです。校正ガス以外で使う場合は換算係数が必要です。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
同じ型式 FC-780C の在庫
ほかのマスフローコントローラー（MFC）の在庫
マスフローコントローラー（MFC）の在庫をすべて見る(221点) ›
マスフローコントローラー（MFC）の買取も行っています
不要になったマスフローコントローラー（MFC）がありましたら、無料で査定します。廃棄・処分する前に一度ご相談ください。