中古 Tylan マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
本体価格(税別、送料別)30,000円
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- メーカー
- Tylan
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガスSiH2Cl2 流量100SCCM
W125 D33 H150 - 管理番号
- Z21080348
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | SiH2Cl2 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D33 H150 mm |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Tylan FC-780C の装置概要 AIによる記述です
半導体製造プロセスや薄膜堆積装置などの精密なガス流量制御用途に使用される、アナログ式の熱式マスフローコントローラー（MFC）です。腐食性を有するSiH2Cl2（ジクロロシラン）ガス専用としてキャリブレーションが施されており、最大100SCCMまでの微小流量域において精密なガス供給を可能にします。接ガス部には高い耐食性を備えた材料が採用されており、反応性ガスによる劣化を抑え、長期にわたり安定した制御精度を維持します。アナログインターフェース（0〜5 VDC）に対応しているため、既存の製造装置のアナログ制御ラインへの組み込みや、メンテナンス時の交換用デバイスとして適しています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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