中古 Aera マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
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- メーカー
- Aera
- 型式
- FC-780C
- 機種
- マスフローコントローラー（MFC）
- 仕様
- ガス:CF4 流量:200SCCM
- 管理番号
- Z230331103
- 引渡・支払
- 現状有姿/出荷前銀行振込(公的機関は後払い可)
仕様(この商品の仕様欄・銘板から)
| ガス種 | CF4 |
|---|---|
| 流量(フルスケール) | 200 SCCM |
FC-780C の参考仕様
型式の一般的な値を、AIがメーカー資料などから調べたものです。この個体を測った値ではありません。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| 外形寸法 | 124(L)×32(W)×122(H) mm |
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
Aera FC-780C の装置概要 AIによる記述です
本装置は、半導体製造や各種真空プロセスにおいて、ガスの質量流量を精密に測定・制御するためのマスフローコントローラーです。内部に熱式質量流量センサーと比例制御バルブを搭載しており、温度や圧力の変動に影響されることなく、外部からの設定信号に応じて常に一定のガス流量を自動で維持します。
本個体は、ドライエッチングやCVD装置のチャンバークリーニング工程などで多用されるプロセスガスであるCF4（四フッ化炭素）専用に調整されており、最大フルスケール流量は200 SCCMに設定されています。CF4のようなハロゲン系ガスを取り扱う環境を想定し、本シリーズの接ガス部には耐食性に優れたSUS316Lなどのステンレス鋼材が使用されています。また、外部への微量なガス漏洩を防ぐため、非常に高い気密性を確保できるメタルシール構造を採用しており、高純度ガスや反応性ガスを安全かつ厳密に制御する用途に適しています。
流量精度はフルスケールに対して±1.0%、応答時間は1.0秒以内と高速かつ安定した制御性能を備えています。外部インターフェースは、設定および流量出力ともに標準的な0〜5 VDCのアナログ電圧信号に対応しており、動作電源として±15 VDCの直流電源を使用します。アナログ制御ベースの既存設備や実験装置への組み込みが容易な設計となっています。
※AIによる参考情報です。実際の仕様・付属品・状態は個体により異なります。ご不明な点はお問い合わせください。
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